ООО «ИОНТЕК-нано» предлагает магнетроны в универсальном исполнении – они имеют универсальный DC/RF разъем для работы на постоянном токе или высокой частоте (13.56 МГц). Подключение ВЧ генератора для работы в режиме ВЧ распыления диэлектрических мишеней выполняется при помощи отрезка ВЧ кабеля от согласующего устройства. В таблице представлен типоразмерный ряд магнетронов: мишеням размером Ø40÷200 мм соответствует диапазон выходной мощности ВЧ генератора 300÷3000 Вт, блока питания постоянного тока — 1000÷8000 Вт.
№ |
Наименование магнетрона |
Размеры мишени, мм×мм |
Применяется на установках |
3D модель |
Фото |
Чертеж |
1 |
PM1-40-02А/RF |
Ø42/40 |
Установка собственной сборки заказчика |
 |
 |
 |
2 |
PM1-70-02А/RF |
Ø72/70 |
«КРАУДИОН-М3-15/2Ф» |
 |
 |
 |
3 |
РМ1-136×64-02/RF |
136×64 |
«КРАУДИОН-М3-14/2» |
 |
 |
 |
4 |
PM3-6д-02/RF |
Ø152.4(6 дюймов) |
Установка собственной сборки заказчика |
 |
 |
 |
5 |
РМ1-150-02/RF/Fe |
Ø152.4/150 |
Установка собственной сборки заказчика |
 |
 |
 |
6 |
PM3-8д-02/RF |
Ø203.2(8 дюймов) |
Установка собственной сборки заказчика |
 |
 |
 |
7 |
РМ1-200-02/RF/Fe |
Ø203.2/200 |
Установка собственной сборки заказчика |
 |
 |
 |
На практике также применяется прямое соединение катодного узла ВЧ магнетрона и выхода согласующего устройства. Оно может быть рекомендовано практически во всех случаях, если планируется работа магнетрона от ВЧ генератора с выходной ВЧ мощностью более 3000 Вт
|
|
|
|
Магнетрон РМ1-105-02/RF c cогласующим устройством |
Магнетрон РМ1-50-02А/RF c cогласующим устройством на установке ВУП-5 |
Магнетрон РМ1-227×112-02/RF c cогласующим устройством на установке УРМ3.279.026 |
