KRAUDION-EVO-12_6-300.pdf
(PDF, 561.99kB)
Вакуумная установка «КРАУДИОН-ЭВО-12/6-300» предназначена для окисления катодов, применяемых в производстве ЭВП. Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка стеклянных контейнеров (колб) с помещаемыми в них катодами ЭВП;
-форвакуумная откачка вакуумной термической камеры;
-обезгаживание стеклянных контейнеров с катодами;
-контроль герметичности стеклянных контейнеров методом обдува;
-автоматическое заполнение стеклянных контейнеров с катодами окислительной атмосферой до заданного давления;
-нагрев катодов в окислительной атмосфере с контролем температуры и времени выдержки.
Установка позволяет проводить окисление катодов, помещаемых в 1÷6 стеклянных контейнеров.
-безмасляная высоковакуумная откачка стеклянных контейнеров (колб) с помещаемыми в них катодами ЭВП;
-форвакуумная откачка вакуумной термической камеры;
-обезгаживание стеклянных контейнеров с катодами;
-контроль герметичности стеклянных контейнеров методом обдува;
-автоматическое заполнение стеклянных контейнеров с катодами окислительной атмосферой до заданного давления;
-нагрев катодов в окислительной атмосфере с контролем температуры и времени выдержки.
Установка позволяет проводить окисление катодов, помещаемых в 1÷6 стеклянных контейнеров.
| Количество откачных гнезд в вакуумной термической камере, штук | 6 |
| Размеры (рабочий объем) вакуумной камеры, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (мм рт. ст.) | ≤6,7 (≤5×10-2) |
|
Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре +20°С
(после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
|
≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
|
Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре +20°С
(после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
|
≤6,7×10-5 (≤5×10-7) |
| Температура окисления катодов, ˚С | +200÷+300 |
| Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
| Интервал давлений наполнения контейнеров с катодами окислительной средой, Па (мм рт. ст.) | 10÷1500 (0,075÷11,28) |
| Количество магистралей для присоединения вакуумных/газовых баллонов, штук | 6 |
| Габаритные размеры установки: | |
| -вакуумная стойка, мм | 1560×900×h1975(2425) |
| -стойка питания и управления, мм | 600×600×h1805 |
| — сухой форвакуумный насос, мм | 647×192×h322 |
К списку продукции