Установка «КРАУДИОН-М3-20/2» предназначена для магнетронного нанесения покрытий электропроводящих материалов на детали (тела вращения) со сложной геометрией поверхности.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
– безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
– предварительный нагрев деталей на планетарной карусели до заданной температуры;
– отпыливание мишеней магнетронов на заслонки;
– индивидуальная пошаговая обработка деталей в режиме позиционирования планетарной карусели: предварительная ионная очистка и магнетронное нанесение покрытий на поверхности деталей;
– кварцевый контроль толщины напыляемых покрытий;
– управление от промышленного ПЛК с сенсорной панелью: ручной и автоматический режимы работы.
Напылительную систему установки составляют:
– источники ионов CIST-25-02WA и IST-70-02WA/WB с автономными заслонками (рабочие зоны ИИ-1 и ИИ-2);
– 5 магнетронов, в том числе 2 кластера из 2-х магнетронов РМ1-60-02 с общей заслонкой и магнетрон РМ1-60-02 с индивидуальной заслонкой (рабочие зоны КЛАСТЕР-1, КЛАСТЕР-2 и МАГНЕТРОН);
– 4-хпозиционная 2-хярусная планетарная карусель для загрузки изделий разного типа, с 2-мя приводами: вращения/позиционирования карусели (1) и вращения деталей на позиции обработки (2);
– нагреватели (вакуумные ТЭНы) напротив деталей на планетарной карусели (3 штуки, рабочая зона НАГРЕВ);
– кварцевые датчики толщины (2 шт.) с индивидуальными заслонками;
– система внутрикамерных пристеночных и разделительных экранов.
На установке реализованы следующие функции:
– четкое разделение вакуумной технологической камеры на рабочие зоны, исключение взаимного влияния технологических устройств;
– гибкая настройка положения и оптимальное ориентирование источников ионов и магнетронов по отношению к напыляемым деталям на планетарной карусели;
– удобство демонтажа источников ионов и магнетронов при помощи специальных съемных выдвижных механизмов извлечения из окон вакуумной камеры для замены мишеней и обслуживания;
– удобство загрузки деталей на карусели;
– для монтажа деталей на планетарной карусели применяется съемная технологическая оснастка, поставляемая с установкой;
– для охлаждения вакуумной камеры и технологических устройств применяется чиллер с водяным или воздушным внешним охлаждением (опция);
| Внутренние размеры вакуумной камеры (диаметр×высота), мм | Ø600×h324 |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/сек | 1300 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤2.67×10-6 |
| Размеры мишеней магнетронов (диаметр×толщина), мм | Ø62/60×6 |
| Размеры подложек (тела вращения), мм | ≤Ø35÷h20 |
|
Количество обрабатываемых изделий на планетарной карусели:
– резонаторы, штук
– основания, штук |
4
4 |
|
Скорость вращения деталей на позиции (регулируемая):
– резонатор, об/мин
– основание, об/мин |
≤200
≤150 |
| Максимальная температура нагрева деталей, °С | 300 |
| Параметры источника ионов CIST-25-02WА, IST-70-02WA/WB: | |
| – рабочее давление, Торр | 1×10-4÷5×10-4 |
| – напряжение разряда, В | +3000 |
| – ток разряда, А | 10÷30 |
| Параметры магнетронов РМ1-60-02: | |
|
– рабочее давление, Торр |
1×10-3÷5×10-2 |
|
– напряжение разряда, В |
-400÷-800 |
|
– ток разряда, мА |
0.05÷2.0 |
|
Количество блоков питания:
– магнетронов, штук
– источников ионов, штук |
3
2 |
|
Мощность блоков питания:
– магнетронов, Вт;
– источников ионов |
1.5
2 |
|
Габаритные размеры установки: |
|
|
– вакуумная стойка (со съемными механизмами извлечения магнетронов), мм |
1855×1115×1553÷1740 |
|
– стойка питания и управления, мм |
600×800×1850 |
| – сухой форвакуумный насос, мм | 592×340×976 |
К списку продукции