KRAUDION-M3-08_4.pdf
(PDF, 574.35kB)
Установка «КРАУДИОН-М3-08/4» предназначена для нанесения на 2 стороны подложек размерами 60×48 мм пленок проводниковых материалов магнетронным распылением изготовленных из них мишеней в среде аргона.Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
-предварительный нагрев подложек;
-отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на заслонку;
-магнетронное нанесение адгезионного/барьерного слоя Cr, V, Ti и др. на 2 стороны подложек размерами 60×48 мм;
-магнетронное нанесение одним, двумя или тремя магнетронами одновременно пленочных покрытий Сu, Ni и др. толщиной до 15 мкм и более на 2 стороны подложек размерами
60×48 мм;
-кварцевый контроль толщины напыляемых пленок;
-контроль ресурса мишеней магнетронов.
Система управления установкой построена на базе промыш-ленного ПЛК и сенсорной операторской 15” панели управле-ния.
Установка «КРАУДИОН-М3-08/4» применяется для двухсто-ронней металлизации поликоровых пластин при изготовлении
микрополосковых плат. Опыт безотказной эксплуатации – бо-лее 6 лет.
Напылительную систему установки составляют:
-1 магнетрон РМ1-150-02А;
-3 магнетрона РМ1-150-02WА c водоохлаждаемым анодом;
-заслонка магнетронов;
-резистивные нагреватели (3 сверху карусели);
-карусель с функцией поворота кассет с подложками;
-система кварцевого контроля толщины напыляемых покры-тий;
-система съемных экранов
Дополнительные опции:
-источник ионов IST-100-02WA/WB;
-турбомолекулярный насос вместо криогенного насоса.
| Размеры вакуумной камеры, мм | Ø650×h300 |
| Скорость откачки криогенного насоса, л/сек | 1500 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤1×10-6 |
| Размеры подложек, мм | 60×48 |
| Размеры мишеней магнетронов, мм | Ø152.5/150×h6÷16 |
| Параметры магнетронов РМ1-150-02WA: | |
| -рабочее давление, Торр | 1×10–3÷5×10-2 |
| -напряжение разряда, В | -400÷-750 |
| -ток разряда, А | 0.05÷10.0 |
|
Количество блоков питания магнетронов, штук
|
3 |
| Мощность блока питания магнетронов, кВт | 6.0 |
| Количество кассет с подложками 60×48 мм на карусели (напыление на 2 стороны), штук | 12 |
| Скорость осевого вращения карусели, об/мин | 10÷40 |
| Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложках размерами 60×48 мм, % | ≤±5 |
|
Максимальная температура нагрева подложек (контроль по термопаре, закрепленной
на вращающейся карусели), °С
|
+350 |
| Толщина наносимых покрытий, мкм | 0,01÷15.0 |
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме при одновременной работе 3-х магнетронов, кВА | не более 20 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 960 |
|
Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложках
размерами 60×48 мм, %
|
≤±5 |
|
Габаритные размеры установки:
|
|
|
-вакуумная стойка, мм
|
1350×1000×h1890 |
|
-стойка питания и управления, мм
|
600×600×h2040 |
| -сухой форвакуумный насос, мм | 647×192×h322 |
| -компрессор криогенного насоса, мм | 449×462×h467 |
К списку продукции