Количество откачных гнезд в вакуумной термической камере, штук | 6 |
Общее количество одновременно обрабатываемых ЭВП, штук | 18 |
Диаметр медных щтенгелей для присоединения ЭВП, мм | 4÷10 |
Объем присоединяемых ЭВП, см³ | 3÷50 |
Размеры (рабочий объем) вакуумной термической камеры, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
Предельное давление в вакуумной камере, Па (мм рт.ст.) | ≤6,7 (≤5×10-2) |
Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре
+20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
|
≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
Температура обезгаживания изделий в вакуумной камере, ˚С | +550±10 |
Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
Габаритные размеры установки: | |
-вакуумная стойка, мм | 1350×800×h2020/h2420 |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h2080 |
-форвакуумный насос с азотной ловушкой, мм | 850×300×h1000 |
К списку продукции