ООО «ИОНТЕК-нано» предлагает источники ионов с холодным катодом и замкнутым дрейфом электронов:
– малогабаритные круглые источники ионов CIST;
– линейные (протяженные) источники ионов IST;
Они имеют водоохлаждаемые анод и корпус с магнитной системой (совместимы с процессами нагрева в вакуумной камере до 350°С), надежную изоляцию и систему подвода рабочего газа со встроенным газораспределителем.
Области применения:
– ионная очистка и активация поверхности подложек;
– ионное травление;
– ионное ассистирование в процессах магнетронного напыления тонкопленочных покрытий;
– ионная подстройка частоты кварцевых резонаторов;
– ионная балансировка ЧЭ ТВГ;
– ионная полировка;
– ионно-лучевое распыление.
