KRAUDION-VTO-11_1-350.pdf
(PDF, 563.43kB)
Установка вакуумной термической обработки (вакуумная печь) «КРАУДИОН-ВТО-11/1-350» предназначена для проведения процессов термического отжига критически чувствительных к загрязнениям изделий/ЭВП при температуре ≤350 в безмасляной вакуумной среде, обеспечивая после отжига предельное давление ≤5х10-7 Торр в максимально чистых условиях. Установка может также применяться для финишной герметизации ЭВП и пайки различных металлов и сплавов при температуре ≤650˚С в вакууме, а также в среде инертного газа.
Установка «КРАУДИОН-ВТО-11/1-350» обеспечивает проведение в ручном и автоматическом режимах следующих технологических операций:
-откачка вакуумной камеры с изделиями до высокого вакуума;
-нагрев вакуумной камеры с изделиями с заданной скоростью до заданной температуры;
-термическая обработка изделий в вакуумной камере при заданной температуре 100÷650°С в течение заданного времени;
-охлаждение с заданной скоростью вакуумной камеры с изделиями, в том числе при заполнении камеры инертным газом;
-разгерметизация вакуумной камеры – заполнение сухим воздухом или азотом до атмосферного давления.
Установка «КРАУДИОН-ВТО-11/1-350» оснащена высоковольтным блоком питания 5кВ/50мА с регулируемым напряжением и коммутатором на 2 канала.
Установка «КРАУДИОН-ВТО-11/1-350» обеспечивает проведение в ручном и автоматическом режимах следующих технологических операций:
-откачка вакуумной камеры с изделиями до высокого вакуума;
-нагрев вакуумной камеры с изделиями с заданной скоростью до заданной температуры;
-термическая обработка изделий в вакуумной камере при заданной температуре 100÷650°С в течение заданного времени;
-охлаждение с заданной скоростью вакуумной камеры с изделиями, в том числе при заполнении камеры инертным газом;
-разгерметизация вакуумной камеры – заполнение сухим воздухом или азотом до атмосферного давления.
Установка «КРАУДИОН-ВТО-11/1-350» оснащена высоковольтным блоком питания 5кВ/50мА с регулируемым напряжением и коммутатором на 2 канала.
| Рабочее («печное») пространство, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
| Высоковакуумная откачка: | |
| -турбомолекулярный насос, л/сек | 685 |
| -сухой роторный насос, л/сек | 10 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере: | 1 |
| -при температуре в рабочей зоне +600°С, Па (Торр); | ≤6.65×10-3 (≤5×10-5) |
| -при температуре в рабочей зоне +25°С, Па (Торр) | ≤6.65×10-5 (≤5×10-7) |
| Разброс значений температуры по высоте рабочего пространства вакуумной камеры при температуре 600°С, % (°С) | <±10 |
| Максимальная температура в рабочей зоне, ˚С | +650 |
| Температура наружной части колпака, ˚С | ≤30 |
| Диапазон изменения скорости нагрева/охлаждения, ˚С/мин | 0.2÷5 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 600 |
| Параметры высоковольтного блока питания: | |
| -напряжение/ток, кВ/мА | 5/50 |
| Габаритные размеры установки, мм | |
| -вакуумной стойки, мм | 1450×950×h2020(h2520) |
| -стойки питания и управления, мм | 600×600×h2005 |
| -сухой форвакуумный насос, мм | 498×190×h272 |
К списку продукции