ООО «ИОНТЕК-нано» предлагает магнетроны для распыления сплошных (непрофилированных) мишеней из ферромагнитных материалов (Ni, Co, Fe, их сплавы). Достигается такая возможность в результате применения магнитной системы специальной конфигурации. Все магнетроны распыляют сплошные ферромагнитные мишени толщиной до 16 мм (для мишени из никеля), — предельная толщина зависит от диаметра/ширины мишени.
Модульная конструкция магнетронов, позволяющая легко установить необходимую сменную магнитную систему (обычно представляющую собой законченную сборку в виде моноблока), превращает большинство магнетронов в устройства для распыления ферромагнитных мишеней. Некоторые примеры решения практических задач при помощи магнетронного напыления пленок ферромагнитных материалов представлены ниже:
Магнетрон
|
Фото
|
Установка
|
Техпроцесс
|
Мишень Ni 227×112×10 мм
Мишень Ni 227×112×10 мм
|
|
«Магна-2М» (модернизация)
«Магна-2М» (модернизация)
|
1. Напыление пленок Ni в составе трехслойной композиции Cr-Ni-Ag -металлизация коллекторной стороны мощных полупроводниковых приборов
2. Напыление пленок Ni для формирования контактных площадок тонкопленочных термометров сопротивления
|
Мишень Fe 227×112×7 мм
|
 |
УРМ3.279.026 (модернизация)
|
Напыление пленок Fe для создания композиционных радиопоглощающих материалов
|
МишеньNi Ø220×12 мм
|
 |
УРМ3.279.068 (модернизация)
|
Напыление пленок Ni для формирования коммутационного покрытия на кристаллах Bi2Te3 в производстве термоэлементов термоэлектрических преобразоваетелей Пельтье
|
