Установка «КРАУДИОН-М3-19/2» предназначена для магнетронного нанесения покрытий электропроводящих и диэлектрических материалов на детали (тела вращения) со сложной геометрией поверхности.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
– безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
– предварительный нагрев деталей на планетарной карусели до заданной температуры;
– отпыливание мишеней магнетронов на заслонки;
– индивидуальная пошаговая обработка деталей в режиме позиционирования планетарной карусели: предварительная ионная очистка и магнетронное нанесение покрытий на поверхности деталей;
– кварцевый контроль толщины напыляемого покрытия; Установка управляется от промышленного ПЛК с сенсорной панелью оператора: ручной и автоматический режимы работы.
Напылительную систему установки составляют:
– источник ионов CIST-25-02WA с автономной заслонкой (рабочая зона ИСТОЧНИК ИОНОВ);
– 2 магнетрона: РМ1-60-02/DC (DC режим работы) и РМ1-60-02/RF (RF режим работы, частота 13.56 МГц) с индивидуальными заслонками (рабочие зоны DC МАГНЕТРОН и RF МАГНЕТРОН);
– 4-хпозиционная планетарная карусель для загрузки изделий, с 2-мя приводами: вращения/позиционирования карусели (1) и вращения деталей на позиции обработки (2);
– нагреватель (ламповый, рабочая зона НАГРЕВ);
– кварцевый датчик толщины с индивидуальной заслонкой;
– система внутрикамерных пристеночных и разделительных экранов.
На установке реализованы следующие функции:
– четкое разделение вакуумной технологической камеры на рабочие зоны, исключение взаимного влияния технологических устройств;
– гибкая настройка положения и/или оптимальное ориентирование источника ионов и магнетронов по отношению к напыляемой детали на планетарной карусели;
– удобство демонтажа источника ионов и магнетронов при помощи специальных съемных выдвижных механизмов извлечения из окон вакуумной камеры для замены мишеней и обслуживания;
– удобство загрузки деталей на карусели;
– для монтажа деталей на планетарной карусели применяется съемная технологическая оснастка, поставляемая с установкой;
– для охлаждения вакуумной камеры и технологических устройств применяется чиллер с водяным или воздушным внешним охлаждением (опция)
-
- Вакуумная камера
-
- Панель оператора
-
- Источник ионов круглый
-
- DC магнетрон
-
- RF магнетрон
| Внутренние размеры вакуумной камеры (диаметр×высота), мм | Ø550×h320 |
| Cкорость откачки турбомолекулярного насоса, л/сек | 1300 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤2.67×10-6 |
| Размеры мишеней магнетронов РМ1-60-02 (диаметр×толщина), мм | Ø62/60×6 |
| Размеры подложек (тела вращения), мм | ≤Ø35÷h20 |
| Количество обрабатываемых изделий на планетарной карусели: | ≤4 |
| Скорость вращения деталей на позиции (регулируемая) | >100 |
| Максимальная температура нагрева деталей, °С | 350 |
| Параметры источника ионов CIST-25-02WА: – рабочее давление, Торр – напряжение разряда, В – ток разряда, А | 1×10-4÷5×10-4 +3000 ≤30 |
| Параметры DC магнетрона РМ1-60-02/DC: – рабочее давление, Торр – напряжение разряда, В – ток разряда, А | 1×10-3÷5×10-2 -400÷-800 0.05÷2.0 |
| Параметры RF магнетрона РМ1-60-02/RF: – рабочее давление, Торр – падающая ВЧ мощность (частота 13.56 МГц), Вт – отраженная ВЧ мощность, % | 5×10-3÷5×10-2 -300 ≤1 |
| Габаритные размеры установки (длина×ширина×высота): – вакуумная стойка (со съемными механизмами извлечения магнетронов), мм – стойка питания и управления, мм – сухой вакуумный насос, мм | 1778×1554×1380÷1630 600×800×2050 582×380×410 |
К списку продукции