KRAUDION-IPO-11_2.pdf
(PDF, 531.92kB)
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» предназначена для ионно-плазменной обработки наружных поверхностей и внутренних каналов корпусов из ситалла, применяемых в производстве КЛГ.
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-загрузка изделия в камеру ионно-плазменной обработки;
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
-напуск технологического газа/смеси газов;
-инициирование плазменного разряда и проведение технологического процесса ионно-плазменной обработки наружных поверхностей/внутренних каналов изделия в инертных газах и их смесях с кислородом;
-разгерметизация камеры с напуском инертного газа и выгрузка изделия.
Технологическую систему установки составляют:
-устройство ионно-плазменной обработки РМТ-150/1-02-RF/1;
-ВЧ генератор (13.56 МГц, 300 Вт) с согласующим устройством и контроллером;
-5-ти канальная система напуска газов;
-контур стабилизации рабочего давления газа (дроссельная заслонка, емкостной датчик).
Установка «КРАУДИОН-ИПО-11/2» обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-загрузка изделия в камеру ионно-плазменной обработки;
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
-напуск технологического газа/смеси газов;
-инициирование плазменного разряда и проведение технологического процесса ионно-плазменной обработки наружных поверхностей/внутренних каналов изделия в инертных газах и их смесях с кислородом;
-разгерметизация камеры с напуском инертного газа и выгрузка изделия.
Технологическую систему установки составляют:
-устройство ионно-плазменной обработки РМТ-150/1-02-RF/1;
-ВЧ генератор (13.56 МГц, 300 Вт) с согласующим устройством и контроллером;
-5-ти канальная система напуска газов;
-контур стабилизации рабочего давления газа (дроссельная заслонка, емкостной датчик).
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (Торр) | ≤1.33×10-4 (≤1×10-6) |
| Параметры ВЧ генератора: | |
| -рабочая частота, МГц | 13.56 |
| -выходная мощность, Вт | 1÷300 |
| Количество каналов напуска газов, штук | 5 |
| Рабочее давление, Торр | 1÷15 |
| Содержание кислорода в газовой смеси, % | ≤15 |
| Размеры вакуумной камеры, мм | Ø200×h100 |
| Габаритные размеры установки: | |
| -вакуумной стойки, мм | 800×600×h1085/h1325 |
| -стойки питания и управления, мм | 600×600×h1670 |
К списку продукции