Количество откачных гнезд на рабочем столе, штук | 4 |
Количество нагревательных камер, штук | 4 |
Размеры нагревательных камер, мм | 200×170×378 |
Объем высоковакуумного коллектора (включая клапаны и датчики), см³ | 882 (1243) |
Давление в нагревательных камерах, атм
|
1 |
Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре
+20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
|
≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре
+20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
|
≤6,7×10-5 (≤5×10-7) |
Температура обезгаживания изделий в нагревательных камерах, ˚С | +110±5 |
Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
Интервал давлений наполнения изделий газами, Па (мм рт. ст.) | 10÷2000 (0.075÷15.04) |
Количество вакуумных/газовых баллонов, штук | 4 |
Габаритные размеры установки: | |
-вакуумная стойка, мм | 1300×900×h1515 |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h2080 |
К списку продукции