Модернизирован ВЧ магнетрон РМ1-60-02WA 2006 года выпуска (ООО «ИОНТЕК-нано») для установки УРМ3.279.026. Устанавливается в стандартное окно вакуумной камеры Ду 135 мм. ВЧ магнетрон имеет водоохлаждаемый анод с регулированием его положения (высоты по отношению к мишени). Применяется для напыления диэлектрических пленок SiO2 распылением мишени из кварца (частота 13.56 МГц, мощность 500 Вт). По требованию заказчика добавлен узел равномерного напуска газа в разрядную область на мишени.
К списку продукции