Многофункциональная установка «КРАУДИОН-ЭВО-15/6-350» предназначена приготовления газовых смесей, для финишной электровакуумной обработки изделий ЭВП при температуре ≤450°С и их газонаполнения, а также для окисления катодов.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
– безмасляная высоковакуумная откачка 1÷3 ЭВП или стеклянных контейнеров (колб) с помещаемыми в них катодами;
– форвакуумная откачка вакуумной термической камеры;
– обезгаживание изделий/стеклянных контейнеров с катодами;
– масс-спектрометрический контроль состава остаточной среды и контроль герметичности изделий/стеклянных контейнеров методом обдува;
– приготовление рабочих 2-х и 3-хкомпонентных смесей газов;
– автоматическое заполнение изделий технологическими газовыми смесями или стеклянных контейнеров с катодами окислительной атмосферой до заданного давления;
– контроль параметров и тренировка изделий;
– нагрев катодов в окислительной атмосфере с контролем температуры и времени выдержки;
– холодный отпай изделий.
| Количество откачных гнезд в вакуумной термической камере, штук | 3 |
| Размеры (рабочий объем) вакуумной камеры, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
| Объем высоковакуумного коллектора (включая клапаны и датчики), см³ | 950 |
| Объем газового коллектора (включая клапаны и датчики), см³ | 160 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (мм рт. ст.) | ≤6,7 (≤5×10-2) |
| Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
| Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-5 (≤5×10-7) |
| Диапазон измерений квадрупольного масс-спектрометра, а.е.м. | 1÷100 |
| Температура обработки ЭВП, ˚С | ≤450 |
| Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
| Максимальное давление приготовления газовых смесей в вакуумных/газовых баллонах, мм. рт. ст. | 2280 |
| Интервал давлений наполнения ЭВП рабочими смесями газов, мм рт. ст. | 0.1÷100 |
| Количество магистралей для присоединения баллонов, штук | 5 |
| Количество вакуумных/газовых баллонов в комплекте поставки, штук | 3 + 3 (ЗИП) |
| Объем вакуумных/газовых баллонов, л | 3 |
| Габаритные размеры установки: | |
| -вакуумная стойка, мм | 1560×800×h2020(2520) |
| -стойка питания и управления, мм | 600×600×h1805 |
| -сухой спиральный насоc, мм | 395×290×h372 |
К списку продукции