Установка магнетронного напыления «КРАУДИОН-М3-09/2»

Установка «КРАУДИОН-М3-09/2»Установка «КРАУДИОН-М3-09/2» предназначена для нанесения на подложки Ø100 мм пленок металлов (в том числе ферромагнитных), полупроводников, диэлектриков и композитов магнетронным распылением на постоянном токе (DC) и высокой частоте (RF, 13.56 МГц) изготовленных из них мишеней в среде инертного газа или его смеси с реактивным газом.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры с применением жидкого азота;
-предварительный нагрев подложек до температуры ≤350°С и поддержание заданной температуры во время процессов ионной очистки и напыления;
-отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на заслонку;
-нанесение пленок электропроводящих материалов магнетронным распылением на постоянном токе;
-нанесение диэлектрических пленок:
-ВЧ магнетронным распылением мишеней из диэлектриков;
-магнетронным распылением на постоянном токе (режим DC pulsed, ≤40 кГц) мишеней из электропроводящих материалов в смеси инертного и реактивного газов (реактивное распыление);
-чередование процессов DC и RF магнетронного распыления;
-кварцевый контроль толщины напыляемых пленок;
-контроль ресурса мишеней магнетронов.
Система управления установкой построена на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской панели управления.
Установка «КРАУДИОН-М3-09/2» применяется для напыления пьезоэлетрических пленок ZnO в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и объемных акустических волнах (ОАВ). Опыт безотказной эксплуатации – 5 лет.
Напылительную систему установки составляют:
-магнетрон постоянного тока РМ1-150-02А;
-ВЧ магнетрон РМ1-150-02А/RF c cогласующим устройством;
-заслонка магнетронов;
-источник ионов IST-100-02WA/WB;
-вращающаяся карусель с позициями для размещения пластин Ø100 мм;
-резистивные нагреватели (3 снизу карусели);
-система кварцевого контроля толщины напыляемых покрытий (кварцевый датчик толщины с индивидуальной заслонкой);
-система съемных экранов.
Дополнительные опции:
-полностью безмасляная высоковакуумная откачка с применением турбомолекулярного или криогенного насоса;
-сменные карусели с кассетами для напыления на 24 подложки размерами 60×48 мм;
-индивидуальные заслонки магнетронов;
-напряжение смещения на карусели (DC, RF).