Установка «КРАУДИОН-Т3-08/3» предназначена для вакуумного термического напыления покрытий металлов (Cr и Ag) на кварцевые кристаллы.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры (сухой роторный насос и турбомолекулярный насос на магнитном подвесе);
-предварительный нагрев напыляемых подложек (кассет с кварцевыми кристаллами) до температуры ≤350С и поддержание заданной температуры во время процессов ионной очистки и напыления;
-предварительная ионная очистка подложек при вращении карусели;
-поочередное вакуумное термическое напыление слоев Cr и Ag на кассеты с кварцевыми кристаллами при позиционировании карусели напротив выбранного термического испарителя;
-кварцевый контроль частоты напыляемых кристаллов на каждой позиции напыления, автоматическое завершение процесса напыления при достижении заданной частоты.
Система управления построена на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской 15” панели управления
Напылительную систему установки составляют:
-3 термических испарителя TE-600/W с цилиндрическими экранами и индивидуальными заслонками с пневмоприводом;
-источник ионов IST-100-02WA/WB;
-резистивные нагреватели (4 сверху карусели);
-карусель с кассетами для размещения кварцевых кристаллов;
-держатели тестовых кристаллов;
-система съемных экранов.
| Размеры вакуумной камеры, мм | Ø600×h310 |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе, л/сек | 1270 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤1×10-6 |
| Количество кварцевых кристаллов, загружаемых в кассету, штук | до 10 |
| Количество кассет с кварцевыми кристаллами, размещаемых на карусели | Ø152.5/150×h6÷16 |
| Количество блоков питания термических испарителей, штук | 8 |
| Количество каналов коммутации блока питания термических испарителей, штук | 1 |
| Максимальный ток термических испарителей TE-600/W, А | 2 |
| Параметры источника ионов IST-100/1-02WA/WB: | 600 |
| -рабочее давление, Торр | 2×10–4÷5×10-4 |
| -напряжение разряда, В | +2000÷+3000 |
| -ток разряда, А | 30÷150 |
| Максимальная температура нагрева подложек, °С | +350 |
| Диапазон частоты напыляемых кристаллов, МГц | 3 |
| Относительная неравномерность толщины напыляемых пленок (в пределах зоны Ø70 мм), % | 1÷20 |
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, кВА | не более 10 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 900 |
Габаритные размеры установки: | |
-вакуумная стойка, мм | 1350×1000×h1630 |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h1670 |
| -сухой форвакуумный насос, мм | 647×192×h322 |
К списку продукции