Количество откачных гнезд, штук | 4 |
Размеры (рабочий объем) вакуумной камеры, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
Объем высоковакуумного коллектора (включая клапаны и датчики), см³ | 882 (1243) |
Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-5 (≤5×10-7) |
Температура обезгаживания изделий в вакуумной камере, ˚С | +350±5 |
Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
Интервал давлений наполнения изделий газами, Па (мм рт. ст.) | 10÷2000 (0,075÷15,04) |
Количество вакуумных/газовых баллонов, штук | 4 |
Габаритные размеры установки: | |
-вакуумная стойка, мм | 1560×900×h2000(2500) |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h1805 |
-сухой форвакуумный насоc, мм | 647×192×h322 |
К списку продукции