Модернизация старых (выпуска до 1991 года) установок вакуумного напыления серии УРМ представлена на примере установки УРМ.013.026. В результате модернизации установка представляет собой универсальную напылительную систему для формирования многослойных тонкопленочных покрытий методами DC/RF магнетронного напыления, работающую как в ручном, так и в автоматическом режиме.
От установки УРМ были использованы рамный каркас, колпаковая вакуумная камера, гидравлический подъемник колпака (была выполнена замена манжет и масла).
Установка оснащается:
– полностью новой системой безмаляной высоковакуумной откачки на базе турбомолекулярного (или криогенного) и спирального насосов;
– технологическими устройствами: DC магнетроном для распыления мишеней из электропроводяших материалов (в том числе ферромагнитных), RF магнетроном для распыления диэлектрических мишеней, источником ионов, а также системой нагрева и каруселью с функцией изменения ее электрического состояния (заземленное с измерением тока с карусели, изолированное, подключение к блоку питания напряжения смещения переменной полярности);
– двухканальной системой напуска рабочих газов с газовыми линейками на базе РРГ, а также смесителем для приготовления 2-х или 3-хкомпонентной смеси газов;
– 5-тиканальной системой водяного охлаждения с подключением к чиллеру или магистральному водопроводу;
– системой подготовки и распределения сжатого воздуха;
– отдельно стоящей стойкой питания и управления с ПЛК и сенсорной операторской панелью управления (15”), включающей также блоки питания DC магнетрона, источника ионов, напряжения смещения, контроллеры насоса и вакуума, бесперебойный источник питания;
– ВЧ генератором с согласующим устройством.