Количество откачных гнезд в вакуумной термической камере, штук | 6 |
Размеры (рабочий объем) вакуумной камеры, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (мм рт. ст.) | ≤6.7 (≤5×10-2) |
Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
|
≤6,7×10-5 (≤5×10-7) |
Температура обработки ЭВП/окисления катодов, ˚С | +350/+200÷+300 |
Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
Интервал давлений наполнения ЭВП рабочими смесями газов/контейнеров с катодами окислительной средой, Па (мм рт. ст.) | 10÷1500 (0.075÷11.28) |
Количество вакуумных/газовых баллонов, штук | 5 |
Габаритные размеры установки, мм | 1450×760×1715 |
– вакуумная стойка, мм | 1560×800×h2020(2520) |
– стойка питания и управления, мм | 600×600×h1805 |
– сухой спиральный насоc, мм | 395×290×h372 |
К списку продукции