Установка финишной электровакуумной обработки «КРАУДИОН-ЭВО-15/6-350»

KRAUDION-EVO-15_6-350.pdf
(PDF, 672.52kB)
Вакуумная установка «КРАУДИОН-ЭВО-15/6-350» предназначена для финишной электровакуумной обработки 1÷6 изделий ЭВП при температуре ≤350°С, а также для окисления катодов, помещаемых в 1÷6 стеклянных контейнеров.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
  – безмасляная высоковакуумная откачка ЭВП или стеклянных контейнеров (колб) с помещаемыми в них катодами;
  – форвакуумная откачка вакуумной термической камеры;
  – обезгаживание изделий/стеклянных контейнеров с катодами;
  – контроль герметичности изделий/стеклянных контейнеров методом обдува;
  – автоматическое заполнение изделий технологическими рабочими газовыми смесями или стеклянных контейнеров с катодами окислительной атмосферой до заданного давления;
  – контроль параметров и тренировка изделий;
  – нагрев катодов в окислительной атмосфере с контролем температуры и времени выдержки;
  – холодный отпай изделий.
Установка позволяет проводить окисление катодов, помещаемых в 1÷6 стеклянных контейнеров. Общее количество выпущенных в 2015-2016 г. установок «КРАУДИОН-ЭВО-15/6-350» — 4 штуки.
Количество откачных гнезд в вакуумной термической камере, штук 6
Размеры (рабочий объем) вакуумной камеры, мм (л) Ø450×h600 (95)
Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (мм рт. ст.) ≤6.7 (≤5×10-2)
Предельное остаточное давление в  высоковакуумном коллекторе при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) ≤6,7×10-6 (≤5×10-8)
Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.)
 ≤6,7×10-5 (≤5×10-7)
Температура обработки ЭВП/окисления катодов, ˚С +350/+200÷+300
Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С ≤150
Интервал давлений наполнения ЭВП рабочими смесями газов/контейнеров с катодами окислительной средой, Па (мм рт. ст.) 10÷1500  (0.075÷11.28)
Количество вакуумных/газовых баллонов, штук 5
Габаритные размеры установки, мм 1450×760×1715
  – вакуумная стойка, мм 1560×800×h2020(2520)
  – стойка питания и управления, мм 600×600×h1805
  – сухой спиральный насоc, мм 395×290×h372

 

К списку продукции

Новости

Контактная информация

Адрес:        117105, г. Москва, Нагорный проезд, д. 7, стр. 1
Телефон:   +7(495)580-3410
Факс:           +7(495)580-3410
Email:           plasma@iontecs.ru