Установка «КРАУДИОН-М3-12/2RF» предназначена для нанесения покрытий резистивных сплавов РС-3710, РС-5402, К-50С (кермет) и других методами магнетронного распыления на постоянном токе (DC) и высокой частоте (RF, 13.56 МГц).
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры (сухой роторный насос и турбомолекулярный насос);
-предварительный нагрев подложек до температуры ≤350°С и поддержание заданной температуры во время процессов ионной очистки и напыления;
-предварительная ионная очистка подложек;
-отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на автономные заслонки;
-нанесение пленок резистивных сплавов магнетронным распылением на постоянном токе;
-нанесение высокоомных пленок резистивных сплавов ВЧ магнетронным распылением мишеней К-20С, К-30С, К-50С;
-контроль сопротивления растущей пленки, окончание процесса напыления по достижении заданного значения сопротивления «по свидетелю».
Конструктивные особенности установки:
-нижнее горизонтальное расположение мишеней магнетронов и верхнее расположение подложек;
-радиальная регулировка положения кассет с подложками на карусели для равномерного напыления;
-применение дросселирующей заслонки для расширения диапазона рабочего давления магнетронов;
-индивидуальные поворотные заслонки магнетронов;
-постоянный контроль сопротивления «свидетеля» и температуры подложек непосредственно на вращающейся карусели.
Напылительную систему установки составляют:
-магнетрон постоянного тока РМ1-100-02А и ВЧ магнетрон РМ1-100-02А/RF (с автоматическим согласующим устройством) с индивидуальными заслонками с пневмоприводом;
-источник ионов IST-100-02WA/WB;
-резистивные нагреватели (2 снизу и 2 сверху карусели) с контрольными термопарами;
-легкосъемная вращающаяся карусель с кассетами для крепления подложек размерами 60×48 мм, с несъемным сектором для крепления «свидетеля» и регулирующей термопары;
-система съемных экранов.
| Размеры вакуумной камеры, мм | Ø450×h300 | |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/сек | 685 | |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤1×10-6 | |
| Размеры мишеней магнетронов, мм | Ø100×h5÷12 | |
| Размеры подложек, мм | 60×48, Ø76 | |
| Количество подложек, загружаемых на карусели | 7 + 1 («свидетель») | |
| Параметры магнетронов РМ1-100-02A: | ||
| -рабочее давление, Торр | 1×10–3÷5×10-2 | |
| -напряжение разряда, В | -400÷-750 | |
| -ток разряда, А | 0.05÷6.0 | |
| Параметры источника ионов IST-100-02WA/WB: | ||
| -рабочее давление, Торр | 2×10–4÷5×10-4 | |
| -напряжение разряда, В | +2000÷+3000 | |
| -ток разряда, А | 30÷150 | |
| Выходная мощность ВЧ генератора, Вт | 600 (опция: 1000) | |
| Отраженная ВЧ мощность, Вт | не более 5 | |
| Рабочая частота ВЧ генератора, МГц | 13.56 | |
| Максимальная температура нагрева подложек, °С | +350 | |
| Скорость вращения карусели, об/мин | 10÷60 | |
| Количество приборов контроля сопротивления «свидетеля» Resistomat, штук | 2 | |
| Диапазон контроля сопротивления приборов Resistomat, Ом | 200, 20000 (опции: 20, 2000, 200000) | |
| Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложках 60×48 мм, % | ≤±2.5 | |
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, кВА | не более 6 | |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 600 | |
Габаритные размеры установки: | ||
-вакуумная стойка, мм | 700×1290×h1560 | |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h2050 | |
| -сухой форвакуумный насос, мм | 647×192×h322 |
К списку продукции