| 1. Размеры мишени, распыляемой: | |
| 1.1. С применением медного основания мишени, косвенное водяное охлаждение (резистивные сплавы, кварцевое стекло и пр.): | 470×470×470 |
| – диаметр, мм | 100 |
| – толщина, мм | 4÷8 |
| 1.2. Без применения медного основания мишени, прямое водяное охлаждение (металлы): | |
| – диаметр, мм | 102.5/100 |
| – толщина, мм | 5÷12 |
| 2. Размеры медного основания мишени: | |
| – диаметр, мм | 102.5 |
| – толщина, мм | 5.5 |
| 3. Давление аргона: | |
| – при поджиге новой мишени, Па (мм. рт. ст) | ≤6.65 (5×10-2) |
| – рабочее, Па (мм. рт. ст.) | ≤0.13÷6.65 (≤1.0×10–3÷5×10-2) |
| 4. Параметры работы магнетрона в режиме RF: | |
| 4.1. Рабочая частота, МГц | 13.56 |
| 4.2. Максимальная ВЧ мощность, Вт | ≤1000 |
| 5. Параметры работы магнетрона в режиме DC: | |
| – максимальная DC мощность, Вт | ≤3000 |
| – напряжение разряда, В | -400÷-1000 |
| – ток разряда, А | 0.1÷5.0 |
| 6. Диаметр отверстия вакуумной камеры под вакуумный ввод магнетрона, мм | 65 |
| 7. Размеры и расположение магнетрона: | |
| – максимальный диаметр магнетрона в сборе, мм | 161 |
| – высота размещения магнетрона над нижней плитой вакуумной камеры установки типа УВН-71П-3 (без учета анода), мм | 342 |
| – расстояние от мишени магнетрона до карусели с подложками, мм | ~105 |
| 8. Ход регулирования расстояния от мишени магнетрона до карусели, мм | ≥20 |
| 9. Габаритные размеры вакуумного ввода магнетрона: | |
| – диаметр, мм | 95 |
| – длина, мм | 80 |
| 10. Магистраль подачи рабочего газа в анод магнетрона | есть |
| 11. Рекомендуемый расход холодной воды с температурой от 20±5° С под давлением от 2 кгс/см 2 до 4 кгс/см 2, л/мин | не менее 3 |
| 12. Электрическое состояние экрана магнетрона: | |
| – режим DC | изолированное или заземленное |
| – режим RF | заземленное |
К списку продукции