Линейные источники ионов IST имеют протяженную про длине замкнутую разрядную щель. Они формируют ионный пучок с высокой однородностью по длине и могут работать в высоковольтном и низковольтном режимах. Источники ионов изготавливаются в вариантах для внешнего присоединения к порту вакуумной камеры и для размещения внутри вакуумной камеры. Максимальный ток линейных источников ионов зависит от скорости откачки вакуумной системы и обычно достигает не менее 1÷1,5 мА/мм длины в высоковольтном режиме. Особое внимание в конструкции источников ионов уделено ее надежности, удобству процедуры сборки/разборки и регулировки. Пять разработанных нами и применяемых нашими партнерами типоразмеров линейных источников ионов представлены в таблице.
№ |
Наименование источника ионов |
Длина зоны равномер-ной обработки, мм |
Применяется на установках |
3D модель |
Фото |
Чертеж |
1 |
IST-70-02WA |
70 |
«КРАУДИОН-М1-11/2» |
 |
 |
 |
2 |
IST-70-02WA/WB |
100 |
||||
3 |
IST-100-02WA/WB |
100 |
«КРАУДИОН-М3-08/3», «КРАУДИОН-М3-09/2»,«КРАУДИОН-М1-12/2Ф»,«КРАУДИОН-М3-12/2RF», «КРАУДИОН-М5-09»УВН-71П-3 (модернизация) |
 |
 |
 |
4 |
IST-180-02WA/WB |
180 |
«КРАУДИОН-М5-12/3» |
 |
 |
 |
5 |
IST-300-02WA/WB |
300 |
УВН-71П-3 (модернизация) |
 |
 |
 |
6 |
IST-350-02WA/WB |
350 |
Установка собственной сборки заказчика |
 |
 |
 |
