Протяженные магнетроны

Разработкой магнетронов для распыления мы занимаемся более 30-ти лет (с 1984 года), в том числе протяженных или линейных магнетронов. За это время были разработаны и внедрены в производство магнетроны различной длины для напыления декоративных и функциональных покрытий на объекты/изделия из стекла, металла, различных видов пластмассы, напыление проводили на листовые и объемные изделия, на нити и даже на ткани. Также выполнялись работы по модернизации установок, применяющихся в производстве микроэлектронных приборов. Часть выполненных за это время работ, отображающих наш опыт и возможности, иллюстрируют фотографии:

Как и магнетроны с круглой плоской мишенью протяженные магнетроны ООО «ИОНТЕК-нано» с мишенью длиной 100…2000 мм и шириной 60…200 мм изготавливаются в различных вариантах исполнения магнитной системы: сбалансированной и несбалансированной, а также для распыления мишеней из ферромагнитных материалов. Таблица отображает разнообразие разработанных конструкций и конкретных применений протяженных магнетронов:

№	Наименование магнетрона	Размеры мишени, мм×мм	Применяется на установках	Фото	Чертеж
1	РМ1-136×64-02	136×64	«КРАУДИОН-М3-14/2»
2	РМ1-227×112-02/Fe	227×112	«Магна–2М» (модернизация)
3.1	РМ1-227×112-02/RF	227×112	УРМ3.279.026 (модернизация)
3.2	РМ1-227×112-02/Fe	227×112	УРМ3.279.026 (модернизация)
4	РМ1-260×120-02А	260×120	УВН-71П-3 (модернизация)
5	РМ1-280×140-03(-02)	280×140	«КРАУДИОН-М4-03/2»
6	РМ1-300×60-02WA	300×60	«КРАУДИОН-М5-12/3»
7	РМ1-350×140/5-03(-02)	350×140	УВН-71П-3 (модернизация)
8	РМ1-450×112-02WA/Fe	450×112	УРМ3.279.050 (модернизация)
9.1	РМ1-500×110-02WA/Fe	500×110	Установка собственной сборки заказчика
9.2	РМ1-500×110-02WA/RF	500×110	Установка собственной сборки заказчика
10	РМ1-1300×120-02	1300×120	Проект новой установки
11	РМ1-1600×150-02	1600×150	Проект новой установки