ООО «ИОНТЕК-нано» занимается проектированием, изготовлением и внедрением магнетронных распылительных устройств (магнетронов) и напылительных установок. В основе развития нами данного направления лежат следующие предпосылки:
- более чем 30-летняя история непрерывной и успешной работы наших специалистов (введены в эксплуатацию более 200 магнетронов, в том числе магнетроны на новых 13-ти установках магнетронного напыления «КРАУДИОН-М»);
- привлечение математического моделирования для выбора геометрии распылительной системы;
- анализ и учет современных мировых тенденций (конфокальное напыление,…).
Магнетроны изготавливаются как для внутрикамерного размещения, так и на присоединительном фланце для крепления к окну/порту вакуумной камеры напылительной установки
В наших магнетронах применяются:
- все известные способы крепления мишени и/или основания мишени: при помощи прижимной рамки или ее сегментов, или струбцин, при помощи ферромагнитной вставки для примагничивания к магнитной системе магнетрона и др.;
- все известные способы охлаждения мишени: прямое, косвенное;
- катоды из нержавеющей стали или из меди;
- надежные изоляция и экранирование катодного узла с распыляемой мишенью;
- различные типы магнитных систем: сбалансированные, несбалансированные, усиленные для распыления ферромагнитных мишеней;
- изолированные и/или заземленные экраны/аноды;
- все известные надежные способы подвода коммуникаций (вода, высокое напряжение, рабочий газ) при внутрикамерном расположении магнетрона;
- DC и RF режимы распыления;
Магнетроны также могут иметь:
- распределенную систему напуска газа непосредственно в область разряда;
- водоохлаждаемый анод;
- экранный узел для локализации области распыления с автономной заслонкой;
- узел диафрагмы распыленного потока для коррекции равномерности напыляемого покрытия;
- узел для изменения положения в вакууме (линейное перемещение, угол наклона) с ручным или дистанционным управлением;
- согласующее устройство для обеспечения режимов ВЧ распыления диэлектрических или высокоомных мишеней, непосредственно соединяемое с катодным узлом магнетрона;
- сверхвысоковакуумное исполнение, исключающее применение эластомерных уплотнителей катодного узла магнетрона и его фланца
Многие последние версии магнетронов имеют универсальный DC/RF разъем питания для работы как на постоянном токе, так и для ВЧ распыления (13.56 МГц). Также применяется практика интегрирования магнетронов (или магнетронов с источником ионов, нагревателем) в напылительный кластер, например, для конфокального напыления.
Мы предлагаем магнетроны как из своего разработанного стандартного типоразмерного ряда (размеры мишеней – в мм), так и изготавливаем их «на заказ», — по техническому заданию заказчика, поэтому всегда можем учесть индивидуальные и нестандартные требования, например:
- изготовить оптимальный катодный узел для распыления импортной мишени, размеры которой заданы в дюймах;
- скорректировать положение зоны эрозии на мишени уже имеющегося магнетрона;
- гарантировать отсутствие обработки напыляемой подложки электронами из разряда и пр.
При проектировании магнетронов отправной точкой является задание положения зоны эрозии и ее формы на мишени, обеспечивающее напыление покрытия на подложку с требуемой равномерностью. Наш опыт позволяет предложить заказчику не только магнетроны, но и конфигурацию распылительной системы для решения его технологической задачи:
- оптимальные размеры и форму распыляемой мишени;
- расположение мишени по отношению к напыляемому объекту;
- необходимость движения объекта и его траекторию.
Мы всегда продолжаем сотрудничество с теми, кто приобрел наше оборудование и нуждается в его технической поддержке.
