Ус
тановка «КРАУДИОН-М3-08/3» предназначена для нанесения на подложки размерами 60×48 мм пленок резистивных сплавов магнетронным распылением изготовленных из них мишеней в среде аргона.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры (сухой роторный насос и криогенный насос);
-предварительный нагрев подложек до температуры ≤350°С и поддержание заданной температуры во время процессов ионной очистки и напыления;
-предварительная ионная очистка подложек;
-отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на заслонку;
-нанесение пленок одного, двух или трех различных резистивных сплавов (или их комбинации) на подложки размерами 60×48 мм;
-контроль сопротивления напыляемых пленок по «свидетелю» и автоматическое завершение процесса напыления при достижении заданного значения сопротивления «свидетеля».
тановка «КРАУДИОН-М3-08/3» предназначена для нанесения на подложки размерами 60×48 мм пленок резистивных сплавов магнетронным распылением изготовленных из них мишеней в среде аргона.Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры (сухой роторный насос и криогенный насос);
-предварительный нагрев подложек до температуры ≤350°С и поддержание заданной температуры во время процессов ионной очистки и напыления;
-предварительная ионная очистка подложек;
-отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на заслонку;
-нанесение пленок одного, двух или трех различных резистивных сплавов (или их комбинации) на подложки размерами 60×48 мм;
-контроль сопротивления напыляемых пленок по «свидетелю» и автоматическое завершение процесса напыления при достижении заданного значения сопротивления «свидетеля».
Система управления построена на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской 15” панели управления
Установка «КРАУДИОН-М3-08/3» применяется для нанесения пленок РС-3710, РС-4800, РС-5406 на поликоровые подложки при изготовлении микрополосковых плат. Опыт безотказной эксплуатации – более 6 лет.
Напылительную систему установки составляют:
-3 магнетрона РМ1-150-02А;
-поворотная заслонка магнетронов;
-источник ионов IST-100-02WA/WB;
-резистивные нагреватели (4 сверху карусели);
-легкосъемная плоская вращающаяся карусель с кассетами для крепления подложек размерами 60×48 мм, с несъемным сектором для крепления «свидетеля» и регулирующей термопары;
-система съемных экранов
-3 магнетрона РМ1-150-02А;
-поворотная заслонка магнетронов;
-источник ионов IST-100-02WA/WB;
-резистивные нагреватели (4 сверху карусели);
-легкосъемная плоская вращающаяся карусель с кассетами для крепления подложек размерами 60×48 мм, с несъемным сектором для крепления «свидетеля» и регулирующей термопары;
-система съемных экранов
Дополнительные опции:
-турбомолекулярный насос вместо криогенного насоса;
-ВЧ генератор с согласующим устройством для распыления высокоомных мишеней.
-турбомолекулярный насос вместо криогенного насоса;
-ВЧ генератор с согласующим устройством для распыления высокоомных мишеней.
| Размеры вакуумной камеры, мм | Ø650×h300 |
| Скорость откачки криогенного насоса, л/сек | 1500 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤1×10-6 |
| Размеры подложек, мм | 60×48 |
| Размеры мишеней магнетронов, мм | Ø152.5/150×h6÷16 |
| Параметры магнетронов РМ1-150-02A: | |
| -рабочее давление, Торр | 2×10-4÷5×10-4 |
| -напряжение разряда, В | -400÷-750 |
| -ток разряда, А | 0.05÷6.0 |
Количество блоков питания магнетронов, штук | 1 (опция: 2) |
| Количество каналов коммутации блока питания магнетронов, штук | 3 |
| Мощность блока питания магнетронов, кВт | 3.0 |
Параметры источника ионов IST-100-02WA/WB: | |
-рабочее давление, Торр | 2×10–4÷5×10-4 |
-напряжение разряда, В | +2000÷+3000 |
-ток разряда, мА | 30÷150 |
| Количество подложек размерами 60×48 мм на карусели | 22 + «свидетель» |
Максимальная температура нагрева подложек (контроль по термопаре, закрепленной на вращающейся карусели), °С | +350 |
Скорость вращения карусели, об/мин | 10÷60 |
| Количество приборов контроля сопротивления «свидетеля» Resistomat, штук | 1 (опция: 2) |
Диапазон контроля сопротивления «свидетеля» по прибору Resistomat, Ом | 2000 (опция: 200, 20000, 200000) |
Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложках размерами 60×48 мм, % | ≤±5 |
Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, кВА | не более 10 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 600 |
Габаритные размеры установки: | |
-вакуумная стойка, мм | 1350×1000×h1890 |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h2040 |
| -сухой форвакуумный насос, мм | 647×192×h322 |
| -компрессор криогенного насоса, мм | 449×462×h467 |
К списку продукции