Вакуумная установка линейного типа «КРАУДИОН-М5-12/3» (вакуумная технологическая линия) предназначена для получения прецизионной наноструктуры поверхности электрохимически-активного слоя анодов при нанесении текстурированного платинового покрытия методом магнетронного напыления на подложки-электроды из ниобия и предназначена для серийного производства данных электродов. Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций: -упрощенная процедура замены отработанной протяженной мишени из платины, имеющей оптимизированную геометрию; -загрузка съемного подложкодержателя с подложками на рабочую тележку с зоной запыления 1000×180 мм; -безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры и камер крайнего положения механизма сканирования: левой и правой; -чередующееся возвратно-поступательное перемещение (сканирование) рабочей тележки с заданием необходимой длины (шага) перемещения, согласованной с длиной напыляемых подложек-электродов; -предварительная ионная очистка подложек; -магнетронное напыление платинового покрытия необходимой толщины (15÷40 мкм); -контроль произведенной работы магнетрона (кВт×час) и ресурса мишени магнетрона. Система управления построена на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской 15” панели управления. Дополнительная опция: -шлюзовая камера с форвакуумной (или высоковакуумной) откачкой, отсечным вакуумным затвором и механизмом загрузки/выгрузки подложкодержателя с подложками.
| Суммарный объем вакуумной технологической камеры и камер крайнего положения механизма сканирования (левой и правой), л | 200 |
| Параметры агрегата форвакуумной откачки: | |
| -скорость откачки сухого роторного насоса, л/сек | 10 |
| -скорость откачки насоса Рутса, л/сек | 75 |
| Количество турбомолекулярных насосов на магнитном подвесе | 2 |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе, л/сек | 1400 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной технологической камере, Торр | ≤1.0×10-6 |
| Размеры зоны равномерного напыления на поверхности рабочей тележки, мм | 1000×180 |
| Размеры мишени магнетрона, мм | 300×60×8 |
| Мощность блока питания магнетрона, кВт | 6.0 |
| Параметры магнетронов РМ1-300×60-02WA: | |
| -рабочее давление, Торр | 1×10–3÷5×10-2 |
| -напряжение разряда, В | -400÷-750 |
| -ток разряда, А | 2.0÷10.0 |
| Параметры источника ионов IST-180-02WA/WB: | |
| -рабочее давление, Торр | 2×10–4÷4×10-4 |
| -напряжение разряда, В | +2000÷+3000 |
| -ток разряда, мА | 30÷300 |
| Скорость перемещения рабочей тележки с подложками (регулируемая), м/мин | 1÷4 |
| Относительная неравномерность толщины напыляемого покрытия на поверхности подложек, % | ≤±10 |
| Коэффициент использования материала мишени (по весу),% | >50 |
| Толщина наносимых покрытий, мкм | 0.001÷100 |
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, кВА | не более 10 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 600 |
|
Габаритные размеры установки:
|
|
|
-вакуумная технологическая линия, мм
|
3350×800×h1870 |
|
-стойка питания и управления, мм
|
600×600×h2050 |
| -агрегат форвакуумной откачки, мм | 780×420×h995 |
| -механизм сканирования, мм | 2800×230×h180 |
Установка «КРАУДИОН-М5-12/3» продолжает серию установок линейного типа (вакуумная технологическая линия), разрабатываемых ООО «ИОНТЕК-нано». Первая опытно-экспериментальная inline установка «КРАУДИОН-Н5-09» была разработана, изготовлена и поставлена заказчику в 2010 году. Установка «КРАУДИОН-Н5-09» успешно применяется при изготовлении рабочих электродов систем катодной защиты от морской коррозии. *Кузьмин Ю.Л., Ставицкий О.А. Нанотекстурированные платино-ниобиевые аноды с повышенными ресурсными характеристиками и работоспособностью для долговременной катодной защиты от коррозии корпусов судов и морских объектов нефтегазодобывающего комплекса. Сборник докладов и каталог четвертой межотраслевой конференции «АНТИКОРРОЗИОННАЯ ЗАЩИТА-2013». -2013 — с. 48-52.
| Параметр | «КРАУДИОН-Н5-09», 2010 год | «КРАУДИОН-М5-12», 2014 год |
|
Характеристика откачной
системы
|
Безмасляная с применением жидкого азота | Полностью безмасляная |
|
Размеры мишени
магнетрона, мм
|
Ø100×10 | 300×60×8 |
|
Расчетный вес мишени
из платины, г
|
1684 | 2150 |
| Коэффициент использования мишени, %(вес) | ~30 | >50 |
|
Количество электродов, загружаемых на тележку, штук:
|
||
|
-250×15 мм
|
— | 48 |
|
-500×15 мм
|
4 | 24 |
|
-750×15 мм
|
4 | 12 |
| Мощность блока питания магнетрона, кВт | 3.0 | 6.0 |
| Механизм сканирования | цепная передача | шарико-винтовая передача |
| Количество датчиков положения механизма сканирования, штук | 3 | 1 |
| Система управления | ПЛК (микроконтроллер), кнопочная панель управления с мнемосхемой | Промышленный модульный ПЛК, сенсорная панель управления с мнемосхемой |
| Функция регулирования, используемая для оптимизации техпроцесса | Отключение блока питания магнетрона при прохождении незаполненного участка тележки | Регулирование шага сканирования в зависимости от длины напыляемых электродов. Настройка границы зоны сканирования |
|
Контроль произведенной работы магнетрона (кВт×час)
и ресурса мишени магнетрона
|
нет | есть |
К списку продукции