Малогабаритные круглые источники ионов СIST имеют разрядную щель в форме кольца. Они формируют трубчатый ионный пучок различной формы: сходящийся, параллельный или расходящийся и могут работать в высоковольтном и низковольтном режимах. Источники ионов изготавливаются в вариантах для внешнего присоединения к порту вакуумной камеры и для размещения внутри вакуумной камеры в заданном месте и положении. Они также применяются совместно с механизмом регулирования положения внутри вакуумной камеры по двум осям координат, в том числе с диафрагмой, что позволяет настроить оптимальный «вырез» ионного пучка для применения в процессах, где требуются минимальные дозы воздействия ионами (подстройка частоты кварцевых резонаторов, ионная балансировка ЧЭ ТВГ). Максимальный ток малогабаритных источников ионов CIST – 50 и 100 мА. Источники ионов со сходящимся пучком могут применяться для ионно-лучевого распыления небольших мишеней из дорогих, редких и экспериментальных материалов (диаметр ~10 мм).
№ |
Наименование источника ионов |
Диаметр разрядной щели, мм |
Применяется на установках |
3D модель |
Фото |
Чертеж |
1 |
CIST-25 |
20 |
«КРАУДИОН-ИТ1-09»(подстройка частоты кварцевых резонаторов)«КРАУДИОН-ИТ1-12/1», «КРАУДИОН-ИТ1-14/1», «КРАУДИОН-ИТ1-16/2»(ионная балансировка ЧЭ ТВГ)«КРАУДИОН-М3-14/2»(очистка и активация поверхности подложки) |
  |
  |
 |
2 |
СIST-40 |
40 |
«КРАУДИОН-М3-16/4»(очистка и активация поверхности подложки, ионное ассистирование) |
 |
 |
|
|
|
|
Источники ионов линейные |
Подстройка частоты кварцевых резонаторов |
Ионная балансировка ЧЭ ТВГ |
