Установка магнетронного напыления «КРАУДИОН-М3-15/2Ф»

 

Установка «КРАУДИОН-М3-15/2Ф» предназначена для нанесения:
-покрытий любых материалов (металлы, полупроводники, диэлектрики), независимо от их электропроводности и состава, методом конфокального магнетронного распыления изготовленных из них мишеней на постоянном токе (DC, DС pulsed) или ВЧ распыления (RF) в среде рабочего газа (аргон);
-покрытий соединений электропроводящих материалов в том числе диэлектрических, распылением на постоянном токе (DC, DС pulsed) в смеси аргона с реактивным газом (кислород, азот, …);
-композиционных покрытий, в том числе чередующихся, многослойных или градиентных по составу, совместным распылением из двух или трех конфокальных магнетронов.
Установка «КРАУДИОН-М3-15/2Ф» обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-загрузка напыляемой подложки на подложкодержатель;
-высоковакуумная безмасляная откачка вакуумной технологической камеры;
-предварительный нагрев для обезгаживания подложки в вакууме при вращении подожкодержателя до температуры ≤300°С и поддержание этой температуры в течение заданного времени;
-предварительная ионно-плазменная очистка подложки на подложкодержателе при подаче отрицательного постоянного напряжения или ВЧ напряжения смещения;
-конфокальное магнетронное напыление пленок на подложку при вращении подложкодержателя вокруг своей оси;
-контроль толщины напыляемых пленок в процессе напыления и автоматическое завершение процесса напыления по кварцевому датчику;
-контроль температуры подложки при ее обезгаживании, ионно-плазменной очистке и во время процесса напыления при помощи пирометра.
Система управления построена на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской 15” панели управления
Конфокальную напылительную систему установки в базовом варианте оснащения составляют:
-2 универсальных DC/RF магнетрона тока РМ1-70-02А с функцией изменения расстояния до подложки, с индивидуальными заслонками с пневмоприводом;
-легкосъемный экранированный изолированный подложкодержатель SH-150-RBТW с функцией подачи DC/RF напряжения смещения;
-нагреватель подложки HGL-3-1500 с заслонкой с пневмоприводом;
На установке также имеются: двухканальная система напуска газов; кварцевый датчик с пневмозаслонкой и контроллер толщины пленок, система съемных экранов и механизм подъема/опускания верхнего фланца.
Опции для дооснащения установки: третий магнетрон; источник ионов; пирометр для бесконтактного контроля температуры подложки; ВЧ генератор (300 Вт, 13.56 МГц) с согласующим устройством; заслонка подложкодержателя с пневмоприводом; механизм опускания/подъема нижнего фланца; промышленный компьютер.