Установка магнетронного напыления «КРАУДИОН-М1-12/2Ф»

Установка «КРАУДИОН-М1-12/2Ф» предназначена для нанесения тонких анизотропных пленок ферромагнитных металлов, пленок немагнитных металлов, а также комбинации этих слоев магнетронным распылением изготовленных из них мишеней в среде аргона.
Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
-безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
-предварительный нагрев подложек;
-предварительная ионная очистка подложек;
-отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на автономные заслонки;
-поочередное магнетронное нанесение покрытий слоев немагнитного (Ta) и ферромагнитного (Fe-Ni-Co) металлов конфокальным распылением мишеней двух магнетронов с функцией 3D-регулирования на вращающуюся подложку с последующим остыванием подложки в однородном магнитном поле.
Напылительную систему установки составляют:
-кластер из двух конфокальных магнетронов РМ1-100-02А-3DE с функцией 3D-регулирования с внешним управлением и автономными заслонками с пневмоприводом;
-источник ионов IST-100-02WA/WB с заслонкой;
-вращающийся комбинированный узел подложкодержателя SH-76-RTMW, который совмещает в своей конструкции:
-подложкодержатель с вакуумным вводом вращения, приводом вращения и токосъемным узлом;
-нагреватель с термопарой и системой экранов;
-водоохлаждаемую магнитную систему с однородным магнитным полем в плоскости подложки;
-заслонка подложкодержателя с пневмоприводом.