Установки «КРАУДИОН-ЭВО» предназначены для термо- и электровакуумной обработки и газонаполнения изделий – различных электровакуумных приборов (ЭВП): вакуумных реле, генераторных и усилительных ламп, резонаторов и т.д.. Они собраны на полностью новой современной вакуумной и электронной компонентной базе, их отличает широкий диапазон технологических возможностей:
- безмасляная высоковакуумная откачка на базе спирального (или роторного), турбомолекулярного и магниторазрядного насосов до предельного давления ≤5×10-8 мм рт. ст.;
- контролируемый нагрев вакуумных магистралей и обезгаживаюший отжиг изделий в одной или двух вакуумных камерах для обеспечения чистоты вакуумной среды;
- напуск технологических газов до заданного давления, контролируемый при помощи высокоточных емкостных преобразователей давления;
- контроль состава остаточной среды квадрупольным масс-спектрометром;
- возможность длительной безостановочной работы при проведении циклических операций нагрева/обезгаживания, заполнения газами и обработки внутренних полостей приборов и катодов в линейном высоковольтном и ВЧ разрядах;
- высокий уровень автоматизации при проведении технологических операций.
В настоящее время установки «КРАУДИОН-ЭВО» введены в эксплуатацию на 7-ми предприятиях и успешно применяются для электровакуумной обработки с газонаполнением различных ЭВП, включая операцию их финишной герметизации (холодный отпай). В процессе эксплуатации установки показали высокую надежность и ремонтопригодность. Фирма обеспечивает необходимое техническое сопровождение и поддержку поставленного оборудования.
Установки «КРАУДИОН-ЭВО» различаются по следующим признакам:
– по количеству откачных гнезд (присоединяемых приборов): 1,2,3,4, 6, 10, 18;
– по параметрам среды, в которой выполняется обезгаживающий отжиг изделий:
– вакуум (низкий или высокий),- применяется вакуумная камера;
– атмосфера — применяется камера нагрева;
– по количеству вакуумных термических камер (1 или 2) или камер нагрева (1 или 4);
– по количеству применяемых автономных систем вакуумной откачки (2 или 3), их назначению, составу и параметрам;
Обязательным элементом конструкции является наличие вакуумной термической камеры или камеры нагрева, находящейся под атмосферным давлением. Большинство установок имеет систему газонаполнения, к которой присоединяются специальные баллоны для чистых газов. Система газонаполнения может иметь как собственную систему вакуумной откачки, так и объединенную с системой откачки вакуумного коллектора и присоединяемых изделий. В большинстве установок реализована раздельная форвакуумная и высоковакуумная откачка изделий, что позволяет проводить их отбраковку (исключить дальнейшую работу с ними) при обнаружении течи при первичной откачке, или при появлении течи в процессе циклических процедур термо- и электровакуумной обработки, без прекращения работы с остальными изделиями. Газовый и вакуумный коллекторы имеют минимальные объемы для экономии дорогостоящих чистых газов, используемых для наполнения ЭВП. Многолетний опыт проектирования и изготовления установок данного назначения, берущий свое начало от модернизации многочисленных откачных постов ОП-4 («Золушка»), выпускавшихся в 70÷80-х годах прошлого века, позволяет нам учитывать нюансы выбора и применения комплектующих, материалов, средств получения и измерения вакуума, а также индивидуальные пожелания заказчиков.
