Источник ионов из типоразмерного ряда протяженных (линейных) разработанных ООО «ИОНТЕК-сервис» источников ионов серии IST (IST-70, -100, -180, -210, -300, -350), адаптирован для размещения на нижней плите колпаковой вакуумной установки типа УВН-71. Конструктивная особенность источника ионов IST-100-02WA/WB-2018 — все коммуникации (вода, рабочий газ, высокое напряжение) находятся под атмосферным давлением внутри герметичного трубопровода, что гарантирует максимальную надежность в процессе эксплуатации.
Область применения: предварительная ионная очистка и энергетическая стимуляции поверхности подложек перед проведением технологических процессов термического или магнетронного напыления, ионно-химическое травление подложек на вакуумной установке типа УВН-71.
Конкретное применение: ионно-химическое травление пластин пьезоэлектрического кварца диаметром 76 и 100 мм через фоторезистивную маску на установке УВН-70А-1.
| Рабочие газы | аргон, кислород, фреон |
| Рабочее давление, Торр | 1×10–4 ÷9×10–4 |
Максимальный ток: –рабочий газ – аргон, мА –рабочий газ – фреон, мА |
≥150 250÷300 |
| Неравномерность глубины травления кварцевой пластины Ø100 мм, % | ≤±3 |
| Режим работы | длительный |
| Водяное охлаждение | анод, корпус с магнитной системой |
Расход холодной воды с температурой 20±5° С под давлением 2÷4 кгс/см² , л/мин | ≥2.0 |
| Диаметр отверстия в нижней плите вакуумной камеры установки типа УВН-71, мм | 40 |
Габаритные размеры: (без специального корпуса с трубопроводом для крепления к нижней плите вакуумной камеры установки УВН-71): | |
| –длина, мм | 161 |
| –ширина, мм | 81 |
| –толщина, мм | 48 |
К списку продукции