KRAUDION-RPCH1-09.pdf
(PDF, 541.77kB)
Установка «КРАУДИОН-РПЧ1-09» предназначена для подстройки частоты кварцевых резонаторов/пьезоэлементов термическим напылением.
На установке «КРАУДИОН-РПЧ1-09» выполняется процесс термического напыления пленки серебра на электрод резонатора для настройки его частоты в сторону уменьшения значения данного параметра.
Внутри вакуумной технологической камеры размещаются:
– термический испаритель;
– быстродействующая заслонка;
– диафрагма;
– карусель с гнездами для размещения 8 резонаторов.
Диафрагма позволяет пространственно ограничить поток наносимого на электрод резонатора материала, а быстродействующая заслонка – оперативно его отсечь при достижении заданной частоты.
Установка «КРАУДИОН-РПЧ1-09» имеет отдельно стоящую стойку питания и управления. В состав установки также входят:
– система вакуумной откачки на базе турбомолекулярного и сухого форвакуумного насосов, с вакуумными клапанами и средствами измерения вакуума;
– механизм подъема вакуумной камеры с пневмоприводом;
– привод позиционирования карусели;
– привод заслонки;
– технологический генератор и частотомер;
– блок питания термического испарителя;
– система подготовки и распределения сжатого воздуха (пневмоостров);
– система водяного охлаждения, совместимая с контуром оборотного водоснабжения предприятия.
Система управления собрана на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской панели управления с диагональю 15”.
| Размеры вакуумной камеры (диаметр×высота), мм | Ø350×h160 |
| Скорость откачки сухого форвакуумногоо насоса, л/сек | 7.5 |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/сек | 250 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (Торр) | ≤1,33×10-4 (≤1×10-6) |
|
Параметры испарителя ИТ189.01.05.000:
|
|
| – напряжение, В | 3÷5 |
| – ток, А | 70÷120 |
| Количество позиций для размещения резонаторов на карусели, штук | 8 |
| Диапазон частот, МГц | 5÷30 |
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, кВА | 4.0 |
| Расход воды на охлаждение, л/час |
не более 200
|
| Габаритные размеры установки: | |
| – вакуумная стойка, мм | 1000×700×h1200 |
| – стойка питания и управления, мм | 600×600×h1670 |
| – сухой форвакуумный насос, мм | 627×193×h300 |
Введите контактные данные
К списку продукции