ООО «ИОНТЕК-нано», объединяя коллектив высококвалифицированных специалистов – разработчиков оборудования с более, чем 30-тилетним опытом работы, изготовило и поставило заказчикам целый спектр установок для вакуумного магнетронного и термического нанесения покрытий, ионно-лучевой и плазменной обработки поверхностей в вакууме для решения широкого круга научных, технологических и производственных задач. В составе каждой единицы оборудования ключевое место занимают технологические инструменты – магнетронные распылительные устройства (магнетроны), источники ионов, термические испарители, подложкодержатели, карусели и прочие механизмы, различная технологическая оснастка, спроектированные и изготовленные нами. Установки собираются на полностью новой современной вакуумной и электронной компонентной базе, имеют безмасляную высоковакуумную откачку и систему управления на основе ПЛК с сенсорной операторской панелью управления и/или промышленного компьютера. Данная категория оборудования представлена установками вакуумного магнетронного и термического напыления, ионно-лучевой и ионно-плазменной обработки.
При разработке внутрикамерной конфигурации напылительной системы нами применяется программа MFD2.1, позволяющая оценить равномерность толщины напыляемых покрытий в зависимости от размеров и формы магнетронов, взаимного расположения мишени и напыляемых подложек. По результатам расчетов и с учетом многолетнего опыта внедрения магнетронных устройств применяются либо магнетроны из базового типоразмерного ряда, либо новые, учитывающие индивидуальные особенности оборудования.
