Вакуумная установка «КРАУДИОН-ЗГС-12В-10» предназначена для подготовки вакуумных баллонов и приготовления в них рабочих смесей газов, применяемых для наполнения ЭВП.
Установка «КРАУДИОН-ЗГС-12В-10» обеспечивает проведение в ручном и автоматическом режимах следующих технологических операций:
-откачка вакуумных баллонов до высокого вакуума;
-обезгаживание вакуумных баллонов;
-контроль герметичности вакуумных баллонов методом обдува;
-приготовление прецизионных газовых смесей;
-масс-спектрометрический анализ газов.
Установка «КРАУДИОН-ЗГС-12В-10» имеет 2 ЖК сенсорные операторские панели управления: одну в составе стойки питания и управления, вторую, дублирующую, – для удобства оператора, на рабочем столе вакуумной стойки. Контроль давления наполнения выполняется по прецизионному емкостному вакуумметру. Еще 6 емкостных вакуумметров выполняют функцию контроля давления газов в 6-ти подающих газовых магистралях (1÷1200 Торр, ≤20 и ≤60 атм).
Установка «КРАУДИОН-ЗГС-12В-10» обеспечивает проведение в ручном и автоматическом режимах следующих технологических операций:
-откачка вакуумных баллонов до высокого вакуума;
-обезгаживание вакуумных баллонов;
-контроль герметичности вакуумных баллонов методом обдува;
-приготовление прецизионных газовых смесей;
-масс-спектрометрический анализ газов.
Установка «КРАУДИОН-ЗГС-12В-10» имеет 2 ЖК сенсорные операторские панели управления: одну в составе стойки питания и управления, вторую, дублирующую, – для удобства оператора, на рабочем столе вакуумной стойки. Контроль давления наполнения выполняется по прецизионному емкостному вакуумметру. Еще 6 емкостных вакуумметров выполняют функцию контроля давления газов в 6-ти подающих газовых магистралях (1÷1200 Торр, ≤20 и ≤60 атм).
| Количество подсоединяемых баллонов: | |
| -вакуумных баллонов, штук | 8 |
| -в том числе подвергаемых обезгаживанию вакуумных баллонов, штук | 5 |
| -газовых баллонов высокого давления, штук | 4 |
| -общее количество баллонов, штук | 12 |
| Количество магистралей напуска газов с точным контролем давления, штук | 6 |
| Объем подсоединяемых вакуумных баллонов, л | 1÷3 |
| Давление наполнения вакуумных баллонов, атм | ≤3 |
| Высоковакуумная откачка вакуумного коллектора: | |
| -турбомолекулярный насос, л/сек | 67 |
| -сухой спиральный насос, л/сек | 4.17 |
| Высоковакуумная откачка масс-спектрометра: | |
| -турбомолекулярный насос, л/сек | 67 |
| -сухой спиральный насос, л/сек | 1.5 |
| Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе: | |
| -при температуре +150°С, Па (Торр) | ≤6.65×10-4 (≤5×10-6) |
| -при температуре +25°С, Па (Торр) | ≤6.65´10-6 (≤5×10-8) |
| Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, вакуумных баллонов ˚С | ≤+150 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 240 |
| Диапазон измеряемых масс, аем | 1÷100 |
| Габаритные размеры установки: | |
| -вакуумная стойка, мм | 1330×1050×h1650 |
| -стойка питания и управления, мм | 600×600×h1895 |
К списку продукции