KRAUDION-VTO-11_2-600.pdf
(PDF, 543.95kB)
Установка вакуумной термической обработки (вакуумная печь) «КРАУДИОН-ВТО-11/2-600» предназначена для проведения процессов термического отжига критически чувствительных к загрязнениям изделий/ЭВП при температуре ≤600˚С в безмасляной вакуумной среде, обеспечивая после отжига предельное давление ≤5х10-7 Торр в максимально чистых условиях. Установка может также применяться для финишной герметизации ЭВП и пайки различных металлов и сплавов при температуре ≤600˚С в вакууме, а также в среде инертных газов.
Установка «КРАУДИОН-ВТО-11/2-600» обеспечивает проведение в ручном и автоматическом режимах следующих технологических операций одновременно для двух камер или независимо для каждой камеры:
-откачка вакуумных камер с изделиями до высокого вакуума;
-нагрев вакуумных камер с изделиями с заданной скоростью до заданной температуры;
-термическая обработка изделий в вакуумных камерах при заданной температуре 100÷600°С в течение заданного времени;
-охлаждение с заданной скоростью вакуумных камер с изделиями, в том числе при заполнении камеры инертным газом;
-разгерметизация вакуумных камер – заполнение сухим воздухом или азотом до атмосферного давления.
| Рабочее («печное») пространство, мм (л) | Ø300×h275 (20) |
| Количество вакуумных термических камер, штук | 2 |
| -турбомолекулярный насос, л/сек | 685 |
| -сухой роторный насос, л/сек | 10 |
| Предельное остаточное давление в вакуумных камерах: | |
| -при температуре в рабочей зоне +600°С, Па (Торр); | ≤1.13×10-1 (≤1×10-3) |
| -при температуре в рабочей зоне +25°С, Па (Торр) | ≤1.13×10-4 (≤1×10-6) |
| Разброс значений температуры по высоте рабочего пространства вакуумной камеры при температуре 600°С, % (°С) | ≤±2 (<±15) |
| Максимальная температура в рабочей зоне, ˚С | +650 |
| Температура наружной части колпака, ˚С | ≤30 |
| Диапазон изменения скорости нагрева/охлаждения, ˚С/мин | 1÷10 |
Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме при температуре 600°С, кВА | не более 8 |
-в том числе мощность нагревателей, кВА; | 6 |
| Расход воды на охлаждение, л/час | не более 600 |
| Габаритные размеры установки, мм | |
| -вакуумной стойки, мм | 1400×900×h1590/h1890 |
| -стойки питания и управления, мм | 600×600×h1670 |
К списку продукции