KRAUDION-IT1-09.pdf
(PDF, 419.40kB)
Установка «КРАУДИОН-ИТ1-09» предназначена для подстройки частоты кварцевых резонаторов/пьезоэлементов ионным травлением.
На установке «КРАУДИОН-ИТ1-09» выполняется процесс распыления (травления) ионным пучком материала электрода резонатора для настройки его частоты в сторону увеличения значения данного параметра.
Внутри вакуумной технологической камеры размещаются:
– источник тонов CIST-25;
– быстродействующая заслонка;
– диафрагма;
– карусель с гнездами для размещения 8 резонаторов.
Диафрагма позволяет получить необходимую форму «выреза» ионного пучка, а быстродействующая заслонка – оперативно его отсечь при достижении заданной частоты
Установка «КРАУДИОН-ИТ1-09» имеет отдельно стоящую стойку питания и управления.
В состав установки также входят:
– система вакуумной откачки на базе турбомолекулярного и сухого форвакуумного насосов, с вакуумными клапанами и средствами измерения вакуума;
– система напуска рабочего газа на базе регулятора массового расхода;
– механизм подъема вакуумной камеры с пневмоприводом;
– привод позиционирования карусели; — привод заслонки;
– технологический генератор и частотомер;
– блок питания источника ионов; — система подготовки и распределения сжатого воздуха (пневмоостров);
– система водяного охлаждения, совместимая с контуром оборотного водоснабжения предприятия.
Система управления собрана на базе промышленного ПЛК и сенсорной операторской панели управления с диагональю 15”.
| Размеры вакуумной камеры (диаметр×высота), мм | Ø350×h160 |
| Скорость откачки сухого форвакуумного насоса, л/сек | 7.5 |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/сек | 250 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (Торр) | ≤1,33×10-4 (≤1×10-6) |
|
Параметры источника ионов CIST-25:
|
|
| -рабочее давление, Торр | 2×10-4÷5×10-4 |
| -напряжение разряда, В | +2000÷+3000 |
| -ток разряда, мА | 5÷30 |
| -диаметр пучка, мм | 16÷22 |
| Количество позиций для размещения резонаторов на карусели, штук | 8 |
| Диапазон частот, МГц | 5÷30 |
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, кВА | 4.0 |
| Расход воды на охлаждение, л/час |
не более 200
|
| Габаритные размеры установки, мм | |
| – вакуумная стойка, мм | 1000×700×h1200 |
| – стойка питания и управления, мм | 600×600×h1670 |
| – сухой форвакуумный насос, мм | 627×193×h300 |
Введите контактные данные
К списку продукции