I am text block. Click edit button to change this text. Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Ut elit tellus, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo. Начало таблицы: Вариант 1
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤1.0×10-6 |
| Размеры мишеней магнетронов, мм | ∅40/42×h2+6 |
Размеры подложек:
|
∅10+40 ∅1+2 |
Угол наклона магнетронов:
|
28° 40° |
Параметры магнетронов РМ1-40/1-02A-3D:
|
2×10-3+5×10-2 -400+-750 0.05+1.5 |
| Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложке ∅40мм при конфокальном напылении на вращающуюся подложку, % | ≤+5 |
| Скорость напыления, мкм/час | ≤15 |
| Размеры вакуумной камеры, мм | ∅450×h250 |
| Габаритные размеры установки, мм | 1300×800×h1620 |
I am text block. Click edit button to change this text. Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Ut elit tellus, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo. Начало таблицы: Вариант 2
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤1.0×10-6 |
| Размеры мишеней магнетронов, мм | ∅40/42×h2+6 |
Размеры подложек:
|
∅10+40 ∅1+2 |
Угол наклона магнетронов:
|
28° 40° |
Параметры магнетронов РМ1-40/1-02A-3D:
|
2×10-3+5×10-2 -400+-750 0.05+1.5 |
| Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложке ∅40мм при конфокальном напылении на вращающуюся подложку, % | ≤+5 |
| Скорость напыления, мкм/час | ≤15 |
| Размеры вакуумной камеры, мм | ∅450×h250 |
| Габаритные размеры установки, мм | 1300×800×h1620 |