Без рубрики

Магнетрон с круглой мишенью диаметром 200мм РМ1-200-02/Fe

в 07.09.2016   /   Без рубрики   /   Оставить комментарий
круглый магнетрон

Страница находится в разработке

Вверх

«КРАУДИОН-М1-11/2Ф»

в 15.06.2016   /   Без рубрики   /   Оставить комментарий

I am text block. Click edit button to change this text. Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Ut elit tellus, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo. Начало таблицы: Вариант 1

Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр ≤1.0×10-6
Размеры мишеней магнетронов, мм ∅40/42×h2+6
Размеры подложек:

  • плоских, мм
  • сферической формы, мм
 ∅10+40 ∅1+2
Угол наклона магнетронов:

  • режим 1
  • режим 2
 28° 40°
Параметры магнетронов РМ1-40/1-02A-3D:

  • рабочее давление, Торр
  • напряжение разряда, В
  • ток разряда, А
 2×10-3+5×10-2 -400+-750 0.05+1.5
Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложке ∅40мм при конфокальном напылении на вращающуюся подложку, % ≤+5
Скорость напыления, мкм/час ≤15
Размеры вакуумной камеры, мм ∅450×h250
Габаритные размеры установки, мм 1300×800×h1620

I am text block. Click edit button to change this text. Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Ut elit tellus, luctus nec ullamcorper mattis, pulvinar dapibus leo. Начало таблицы: Вариант 2

Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр ≤1.0×10-6
Размеры мишеней магнетронов, мм ∅40/42×h2+6
Размеры подложек:

  • плоских, мм
  • сферической формы, мм
 ∅10+40 ∅1+2
Угол наклона магнетронов:

  • режим 1
  • режим 2
 28° 40°
Параметры магнетронов РМ1-40/1-02A-3D:

  • рабочее давление, Торр
  • напряжение разряда, В
  • ток разряда, А
 2×10-3+5×10-2 -400+-750 0.05+1.5
Относительная неравномерность толщины напыляемых покрытий на подложке ∅40мм при конфокальном напылении на вращающуюся подложку, % ≤+5
Скорость напыления, мкм/час ≤15
Размеры вакуумной камеры, мм ∅450×h250
Габаритные размеры установки, мм 1300×800×h1620
Вверх

«КРАУДИОН-ЭВО-11/10-200»

в 10.03.2016   /   Без рубрики  

Современные требования к прецизионным оптическим покрытиям требуют применения не только особых технологических решений, но зачастую и комбинации различных технологий напыления совместно со средствами спектрального контроля. Компанией Изовак в тесном взаимодействии с ведущими разработчиками оптических покрытий в России разработана новейшая вакуумная установка Аспира-150 для решения оптических задач высокой сложности. Области применения:

  • Лазерная оптика;
  • Спецтехника;
  • Научные приборы;
  • Приборы медицинского назначения;
  • Приборы космического применения.

Отличительные особенности:

  • Применение ионно-лучевого и магнетронного распыления позволяет проводить реактивные и нереактивные процессы в любой последовательности;
  • Предварительная подготовка подложки технологией ионной очистки обеспечивает высокую степень адгезии;
  • Шесть позиций мишеней обеспечивают получение покрытий с любым набором слоев;
  • Встроенный оптический контроль по детали позволяет осуществлять измерение характеристик в различных диапазонах;
  • Применение турбомолекулярных или криогенных насосов, а также минимизация пар трения в вакуумной камере обеспечивают наилучшие условия для получения покрытий с низким уровнем дефектности;
  • Зона напыления 150 мм достаточна для получения большинства прецизионных покрытий.
Вверх
Страница 4 из 512345

Новости

Контактная информация

Адрес:        117105, г. Москва, Нагорный проезд, д. 7, стр. 1
Телефон:   +7(495)580-3410
Факс:           +7(495)580-3410
Email:           plasma@iontecs.ru