KRAUDION-M2-17_4.pdf
(PDF, 541.48kB)
– безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
– предварительный нагрев деталей на планетарной карусели до заданной температуры;
– отпыливание мишеней 3-х магнетронов на заслонки;
– индивидуальная пошаговая обработка деталей в режиме позиционирования планетарной карусели: предварительная ионная очистка и магнетронное нанесение покрытий на поверхности деталей;
– кварцевый контроль толщины напыляемых покрытий (датчик с индивидуальной заслонкой);
– управление от промышленного компьютера: ручной, полуавтоматический и автоматический режимы работы.
Напылительную систему установки составляют:
– источник ионов IST-70-02WA/WB с автономной заслонкой (рабочая зона ИСТОЧНИК ИОНОВ);
– магнетронный кластер из 2-х магнетронов РМ1-40-02/3DM и PM1-60-02/3DM с автономной заслонкой (рабочая зона МАГНЕТРОННЫЙ КЛАСТЕР);
– магнетрон РМ1-80-02/3DM с автономной заслонкой (рабочая зона МАГНЕТРОН);
– 6-типозиционная планетарная карусель с 2-мя приводами: вращения/позиционирования карусели (1) и вращения деталей на позиции обработки (2);
– нагреватели (вакуумные ТЭНы) напротив деталей на планетарной карусели (3 штуки, рабочая зона НАГРЕВ);
– система внутрикамерных пристеночных и разделительных экранов.
На установке реализованы следующие функции:
– четкое разделение вакуумной технологической камеры на рабочие зоны, исключение взаимного влияния технологических устройств;
– гибкая настройка положения мишеней 3-х магнетронов при помощи индивидуальных механизмов 3D регулирования (изменение координат X и Y центра мишени в вертикальной плоскости и угла наклона мишени) для оптимального «прицеливания» по отношению к напыляемой детали на планетарной карусели;
– удобство демонтажа магнетронов и источника ионов при помощи специальных съемных механизмов извлечения из окон вакуумной камеры для замены мишеней и обслуживания;
– удобство демонтажа планетарной карусели из вакуумной камеры при помощи специального механизма;
– для монтажа деталей на планетарной карусели применяется съемная технологическая оснастка, поставляемая с установкой;
– для охлаждения вакуумной камеры и технологических устройств применяется чиллер с водяным или воздушным охлаждением.
| Внутренние размеры вакуумной камеры (диаметр×высота), мм | 645×600×h300 |
| Скорость откачки турбомолекулярного насоса, л/сек | 1300 |
| Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр | ≤2×10-6 |
| Размеры мишеней магнетронов (диаметр×толщина), мм | Ø42/40×4, Ø62/60×6, Ø82/80×6 |
| Размеры подложек (тела вращения), мм | ≤Ø70÷h40 |
| Количество обрабатываемых изделий на планетарной карусели, штук | 6 |
| Скорость вращения деталей на позиции, об/мин | ≤180 |
| Максимальная температура нагрева деталей, °С | 250 |
| Параметры источника ионов CIST-70-02WA/WB: | |
| – рабочее давление, Торр | 1×10-4÷5×10-4 |
| – напряжение разряда, В | +3000 |
| – ток разряда, А | 30÷100 |
| Параметры магнетронов РМ1-40-02/3DM, РМ1-60-02/3DM, РМ1-80-02/3DM: | |
|
– рабочее давление, Торр |
5×10-4÷5×10-3 |
|
– напряжение разряда, В |
-400÷-800 |
|
– ток разряда, мА |
0.05÷2.0 |
| Количество 2-хканальных блоков питания магнетронов, штук | 2 |
| Мощность блока питания магнетрона, кВт | 1.5 |
|
Габаритные размеры установки: |
|
|
– вакуумная стойка (со съемными механизмами извлечения магнетронов), мм |
1952×1100×1990 |
|
– стойка питания и управления, мм |
600×800×1805 |
| – сухой форвакуумный насос, мм | 548×359×397 |
| – чиллер, мм | 377×592×976 |
К списку продукции