Установка линейного типа «КРАУДИОН-М5-17/4-200» предназначена для магнетронного напыления трехслойной металлизации V-Cu-Ni (и других комбинаций металлов) на подложки 200×200 мм. Она предоставляет доступную возможность напыления многослойных покрытий с высокой равномерностью толщины на небольшие партии подложек размерами ≥200 мм.
Преимущества установок серии «КРАУДИОН-М5»:
- высокая равномерность напыления пленочных покрытий — ≤±3%; ≤±1%;
- равномерное симметричное запыление перпендикулярно-ориентированных ступенек рельефа на подложках в результате их поворота на 90° в крайнем положении трассы линейного перемещения;
- выбор применяемых магнетронных распылителей зависит от техпроцесса:
| -«низкотемпературные» магнетроны с водоохлаждаемыми анодами и контролем электронного тока из разряда, с минимальным воздействием электронного тока на подложку; | |
| -магнетроны с несбалансированной магнитной системой для напыления с ионной обработкой растущей пленки; | |
| -магнетроны для распыления ферромагнитных мишеней (никель – толщина мишени ≥10 мм); | |
| -универсальные DC/RF магнетроны для распыпления диэлектрических и высокоомных мишеней |
- расширенный диапазон рабочего давления применяемых магнетронов — 0,1÷10 Па;
- режимы нагрева и ионно-плазменной или ионно-лучевой очистки подложек;
- безмасляная турбомолекулярная или криогенная откачка;
- шлюзовая загрузка-выгрузка паллеты с подложками;
- длина камер крайних положения механизма сканирования определяется в зависимости от количества одновременно напыляемых подложек, размещаемых на паллете;
- простота конструкции применяемых механизмов движения.
Установка «КРАУДИОН-М5-17/4-200» может быть изготовлена в вертикальном исполнении, — версия «КРАУДИОН-М5-17/4-200В».
К списку продукции