Многофункциональная установка «КРАУДИОН-ЭВО-15/6-350» предназначена приготовления газовых смесей, для финишной электровакуумной обработки изделий ЭВП при температуре ≤450°С и их газонаполнения, а также для окисления катодов.
Количество откачных гнезд в вакуумной термической камере, штук | 3 |
Размеры (рабочий объем) вакуумной камеры, мм (л) | Ø450×h600 (95) |
Объем высоковакуумного коллектора (включая клапаны и датчики), см³ | 950 |
Объем газового коллектора (включая клапаны и датчики), см³ | 160 |
Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Па (мм рт. ст.) | ≤6,7 (≤5×10-2) |
Предельное остаточное давление в высоковакуумном коллекторе при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-6 (≤5×10-8) |
Предельное остаточное давление в системе напуска газов при температуре +20°С (после обезгаживания), Па (мм рт. ст.) | ≤6,7×10-5 (≤5×10-7) |
Диапазон измерений квадрупольного масс-спектрометра, а.е.м. | 1÷100 |
Температура обработки ЭВП, ˚С | ≤450 |
Температура обезгаживания трубопроводов вакуумной и газовой системы, ˚С | ≤150 |
Максимальное давление приготовления газовых смесей в вакуумных/газовых баллонах, мм. рт. ст. | 2280 |
Интервал давлений наполнения ЭВП рабочими смесями газов, мм рт. ст. | 0.1÷100 |
Количество магистралей для присоединения баллонов, штук | 5 |
Количество вакуумных/газовых баллонов в комплекте поставки, штук | 3 + 3 (ЗИП) |
Объем вакуумных/газовых баллонов, л | 3 |
Габаритные размеры установки: | |
-вакуумная стойка, мм | 1560×800×h2020(2520) |
-стойка питания и управления, мм | 600×600×h1805 |
-сухой спиральный насоc, мм | 395×290×h372 |
К списку продукции