Магнетроны с мишенями 42/40, 62/60 и 82/80 мм
Магнетрон РМ1-80-02A c механизмом регулирования положения распыляемой
мишени (3D + угол наклона) и экраном, фланец DN 200 ISO-K
Линейный источник ионов IST-70-02WA/WB для внутрикамерного
размещения с функцией регулирования расстояния до объекта обработки